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悬臂浆

该产品是半导体晶圆装载系统的关键部位。其性能稳定,在高温环境不变形,晶圆装载量大,适用于机器人自动装载好搬运系统。由于悬臂浆截面稳定不变形,使用利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。悬臂浆应用于LPCVD同时也能极大的延长了维护清洗周期。


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